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數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

流量范圍：5sccm 至 400slm

數(shù)字式金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器

流量范圍：5sccm 至 50slm

數(shù)字式大流量質(zhì)量流量控制器

流量范圍：400slm 至 2500slm

低壓型大流量質(zhì)量流量控制器

流量范圍：100slm 至 3000slm

雙重閥質(zhì)量流量控制器

流量范圍：100slm 至 2500slm

電子壓力控制器，100mbar 至30bar

流量范圍請咨詢

數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計

流量范圍：5sccm 至 2000slm

超大流量質(zhì)量流量計

流量范圍：2000slm至 5000slm

SEMI標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，壓力不敏感型

流量范圍：5sccm 至 30slm

最佳全新技術(shù)，線性度良好, 精確度控制在設(shè)定值±0.5%范圍以內(nèi)

流量范圍：5sccm 至 30slm

裝裁技能提高產(chǎn)品的安全性，多環(huán)境選擇使用

流量范圍：5sccm 至 30slm

最初的半導(dǎo)體自做用MFC. CVD公定里主要使用

流量范圍：5sccm 至 30slm

基本型 MFC. 響應(yīng)確認(rèn)度和回答度等重要性能與高端機型同等水平

流量范圍：30sccm 至 30slm

專為半導(dǎo)體工藝氣體監(jiān)測設(shè)計,保障前后段壓力劇變下的流量測量安全性與穩(wěn)定性，

流量范圍：5sccm 至 30slm

高溫環(huán)境里氣化的控制前驅(qū)體. 高溫環(huán)境里測定和控制技術(shù)計劃持續(xù)開發(fā)

流量范圍：300sccm 至 5slm

型平板顯示器制造工廠里主要使用，是半導(dǎo)體制造公證主要活映在工藝腔體中

流量范圍：300sccm 至 2slm

用于半導(dǎo)體進程的'液體材料'的為了使絕緣膜更薄、更均勻地沉積

流量范圍：0.5 to 1g/min

可以遠程調(diào)控壓力. 并且一般來說壓力會隨著流量的增加而減小

壓力范圍：10Torr~100Torr

可選2CH，3CH，4CH

適用于MFC，MFM